一种用于半导体工厂空压机废热回收装置.pdfVIP

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2023-07-20 发布于四川
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一种用于半导体工厂空压机废热回收装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于半导体工厂空压机废热回收装置，属于半导体加工技术领域，包括安装座，所述安装座的顶部从左至右均依次安装有空压机本体、热循环锅炉和中央空调主机，所述空压机本体的一侧从上至下均依次开设有连接口，通过设置回流管的作用能够将冷却塔从废气管中排出的热量进行回收并通过回收过滤机构对废气热量回收进行过滤，然后再次进入到空压机本体内部进行空气压缩，因此可将回收的废气热量能够并入热循环锅炉中作为热水系统补充的作用，从而能够减少热循环锅炉的燃气量使用，降低了热循环锅炉的能耗，同时能够实现在夏季

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219368037 U (45)授权公告日 2023.07.18 (21)申请号 202223570368.0 (22)申请日 2022.12.30 (73)专利权人上海合晶硅材料股份有限公司地址