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本实用新型属于芯片生产技术领域，具体公开了一种用于LED芯片表面缺陷检测的寻边定位装置，包括操作台、控制系统以及与控制系统连接的寻边定位机构和固定机构，寻边定位机构包括成像采集模块、Z向位移组件、X轴位移组件、Y轴位移组件和R轴旋转组件，固定机构安装在R轴旋转组件，R轴旋转组件用于带动固定机构转动；操作台上设有支架，Z向位移组件安装在支架上，Z向位移组件用于带动成像采集模块沿Z向移动；成像采集模块用于采集晶圆盘上的LED芯片的图像。本装置检测时只需搬运机器人将晶圆盘搬运到固定机构上，就可以实现晶
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219369541 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320124880.8
(22)申请日 2023.01.16
(73)专利权人 重庆中科摇橹船
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