可调节拆膜撬棍.pdfVIP

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2023-07-20 发布于四川
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本申请提供一种可调节拆膜撬棍，涉及光掩模的技术领域，其包括：横梁本体、手柄及顶针；横梁本体的一侧设有抵接面；手柄连接于横梁本体远离抵接面的一侧；抵接面上设有调节沟槽，顶针滑移连接于调节沟槽，且顶针的滑动方向平行于调节沟槽的延伸方向；顶针还连接有锁紧件，锁紧件用于锁紧顶针以限制顶针滑动。通过设置调节沟槽、顶针及锁紧件，使得在应对不同型号Pellicle的拆膜需求时，可以通过滑动顶针，使得顶针快速移动至不同型号Pellicle的定位孔处，实现顶针的快速调节，以适配不同型号的Pellicle。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219359382 U (45)授权公告日 2023.07.18 (21)申请号 202320190851.1 (22)申请日 2023.02.09 (73)专利权人广州新锐光掩模科技有限公司地址