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电子束引出窗及包含其的电子束发生器.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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电子束引出窗及包含其的电子束发生器.pdf

    本实用新型公开了一种电子束引出窗及包含其的电子束发生器，该电子束引出窗包括：薄膜；窗体，窗体的中部设置有窗口；至少一个第一格栅单元，第一格栅单元包括第一格栅槽；至少一个第二格栅单元，第二格栅单元包括第二格栅槽，第一格栅单元与第二格栅单元间隔设置，且均位于窗口上，第二格栅单元相对于第一格栅单元沿扫描方向被配置于窗口的远端。该电子束引出窗利用了近端第一格栅槽长度短的优点，便于薄膜上的热量快速传导至窗体，同时，窗口被第一格栅单元和第二格栅单元分割，使得第二格栅槽的长度变短，有利于第二格栅单元中部的热量

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279901 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120539090.7 (22)申请日 2021.03.15 (73)专利权人 中国科学院上海应用物理研究所

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