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一种PECVD载板清洗机.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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一种PECVD载板清洗机.pdf

    本实用新型公开了一种PECVD载板清洗机，包括清洗槽、烘干槽、排风装置、行车机构和载板花篮装置，所述清洗槽包括碱洗槽、水洗槽和储液槽，所述碱洗槽和补液槽通过管路连通，所述烘干槽包括加热单元和风机，所述碱洗槽、水洗槽和烘干槽并排设置，所述排风装置设置在所述碱洗槽上方，所述排风装置包括设置在碱洗槽顶部的抽风罩、设置在碱洗槽两侧的排气道、与抽风罩和排气道连通的风管，所述排气道内侧均匀分布有排气孔，所述行车机构横向设置在碱洗槽、水洗槽和烘干槽上方，所述载板花篮装置安装在移动架上，所述载板花篮装置由升降电

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214289682 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202021480168.4 (22)申请日 2020.07.24 (73)专利权人 福建钧石能源有限公司

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