原创力文档- 23
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- 2023-07-21 发布于四川
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本实用新型涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，公开了一种圆柱旋转式矩形磁条磁控溅射靶，包括靶支架，所述靶支架的一侧上部设置连接有注水口，且靶支架的一侧下部固定连接有电机，所述靶支架的另一侧设置连接有靶腔，且靶支架的内部固定连接有靶旋转结构，所述靶腔的两侧固定连接有外齿轮，且靶腔的内部固定连接有靶材，所述注水口的一侧固定连接有进水管，所述进水管的一侧固定连接有冷却水管。本实用新型通过注水口、进水管、冷却水管、电机、转轴、第二齿轮、第一齿轮、靶旋转结构和靶腔，在电机的作用下，带动转轴的旋转，从而带动第二齿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214300327 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202022505954.1
(22)申请日 2020.11.03
(73)专利权人 上海繁枫真空科技有限公司
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