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- 2023-07-21 发布于四川
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本实用新型涉及硅片制造技术领域，特别涉及一种硅片抓取整理装置，包括硅片整理装置、取硅片装置、周转箱移载装置，所述硅片整理装置包括硅片夹持机构、片夹输送载台、托举机构、放硅片机架，所述硅片夹持机构滑动安装于硅片夹持底座上，所述托举机构滑动安装于放硅片机架上且驱动硅片夹持底座上下移动；所述片夹输送载台驱动硅片夹持机构水平方向移动；所述取硅片装置包括控制柜和机器人夹具，所述机器人夹具由控制柜控制；所述周转箱移载装置包括移载台机架、转角机构、移载台和周转箱，所述转角机构滑动安装于移载台机架上，所述移载台
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214269358 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202121863316.5
(22)申请日 2021.08.11
(73)专利权人 常州华数锦明智能装备技术研究
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