1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种等离子表面清洁装置.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约8.14千字
  • 约 10页
  • 2023-07-21 发布于四川
  • 举报

一种等离子表面清洁装置.pdf

    本实用新型是一种等离子表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体两端还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱一侧分别设有高压电源及电控箱，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本实用新型中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体反应后生成气体，不会对被清洗半导体表面造成残留；被清洗零件以转动的方式进入不同氛围进行清洗，大幅度提升了清洗效果，而且结构简单，使用方便；被清洗零件可以转动，能

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279905 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120481659.9 (22)申请日 2021.03.06 (73)专利权人 东莞市峰谷纳米科技有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >