基于图像的激光干涉入射角控制设计.docx

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2023-07-26 发布于湖北
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基于图像的激光干涉入射角控制设计.docx

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PAGE I 基于图像的激光干涉入射角控制设计 Image-Based Incident Angle Control of Laser Interference 摘要激光干涉入射角控制技术是的热门研究方向，其有这大视角、分辨率高、原理简单，及设备低廉等特点，拥有很多的开发前景。研究激光干涉原理和入射角控制技术原理，进行融合处理，再对相关信息提取进行激光干涉入射角与结构制造参数的关系建模，然后进行仿真分析及调试，以提取的图像信息为输入，设计激光干涉光刻入射角控制模块。实现系统仿真及建模，最后完成程序设计及调试。通过白光源发出平直光线，通过一倾置透镜，反射光经二道反射后进入透镜折射区域