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一种间隙测量仪、反应腔及半导体设备.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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一种间隙测量仪、反应腔及半导体设备.pdf

    本实用新型提供了一种间隙测量仪、反应腔及半导体设备，所述间隙测量仪包括光源、探头、两个图像传感器和数据处理器；探头包括两个具有预设夹角的镜头；光源用于向待测位置提供照射光以形成反射光；两个镜头用于分别接收由待测位置反射回来的反射光，并将反射光分别传输至与其对应设置的图像传感器；两个图像传感器分别用于对所接收的光信号进行光电转换，以获取对应视角下的待测位置的图像，并将所述图像传输至数据处理器；数据处理器用于根据所述图像，计算待测位置处的间隙。本实用新型提供的间隙测量仪能够测量出反应腔的部件之间的间

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279923 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120536419.4 (22)申请日 2021.03.15 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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