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一种拾取晶圆盒中透气材料的装置.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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一种拾取晶圆盒中透气材料的装置.pdf

    本实用新型涉及一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，该装置包括伯努利盘(1)、导流盘(2)和气管接头(3)，所述的导流盘(2)固定在伯努利盘(1)下表面中间区域并与伯努利盘(1)之间形成空气流通间隙，所述的空气流通间隙通过气管接头(3)连接连通至气源，所述的导流盘(2)用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘(1)周侧导通分散。与现有技术相比，本实用新型实现了透气材料的自动化拾取，无需人工参与，大大提高生产效率，降低人力成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279939 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120317122.9 (22)申请日 2021.02.04 (73)专利权人 芯钛科半导体设备（上海）有限公

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