一种连接模块及蒸镀产线.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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本申请涉及OLED蒸镀技术领域,公开了一种连接模块及蒸镀产线,连接模块包括:用于连通相邻的第一传送模块和第二传送模块的移送腔室,以及与移送腔室连通的排出腔室,移送腔室内设有用于将玻璃从第一传送模块移送至第二传送模块的第一传送装置;排出腔室具有与外部连通的出口以及用于使得出口呈开启或关闭状态的门;以及用于将位于移送腔室内的玻璃移送至排出腔室的第二传送装置,且当第二传送装置位于排出腔室时,第二传送装置与排出腔室配合以使得排出腔室与移送腔室之间无气体流动,当第二传送装置处于移动状态或位于移送腔室时,排

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214300317 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202022360728.9 (22)申请日 2020.10.21 (73)专利权人 合肥欣奕华智能机器有限公司

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