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本实用新型公开锭生长装置。在本实用新型一实施方式的锭生长装置中,锭生长装置包括:生长炉,用于使锭生长;以及主坩埚,收容于上述生长炉,收容熔融硅,本实用新型的锭生长装置中的上述主坩埚可包括:主坩埚底部;主坩埚侧面部,从上述主坩埚底部朝向上侧延伸而成;以及主坩埚倾斜部,设置有从上述主坩埚侧面部朝向上侧及外侧延伸而成的倾斜面,当从上述主坩埚侧面部的上侧向上述主坩埚的内部供给熔融硅时,沿着上述倾斜面向上述主坩埚的内部引导上述熔融硅,从而可防止上述熔融硅向上述主坩埚的周边飞溅。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214300465 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202022884286.8 C30B 15/20 (2006.01)
(22)申请日 2
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