干净室的检测与认证——高效空气过滤器检漏 过滤器常见问题解决方法.docxVIP

第 第 PAGE 1 页 共 NUMPAGES 1 页 干净室的检测与认证——高效空气过滤器检漏 过滤器常见问题解决方法 高效空气过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验检测（如DOP测试等），并供应合格证（性能试验结果）。对于5级（100级）以上干净室所使用的高效空气过滤器，在现场应再次进行高效空气过滤器本体的性能检测，同时进行检漏试验以确认高效空气过滤器是否正确安装。在大规模集成电路生产的超干净技术中（如0.1um，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的成都。在这种情况下，就必需重新考虑接受DOP检漏试验。 1、检测