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本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别指一种晶圆盒多功能转运板，包括承载板，承载板上端面固定有若干组定位机构，定位机构包括上组件和下组件，上组件包括定位件a和定位件b，下组件包括定位件c和定位件d,定位件a和定位件b上分别设有互为配对的型槽，每个型槽上均设有第一定位口和第二定位口，第一定位口开口与下组件相对，定位件a的第二定位口与定位件b的第二定位口的开口相对；定位件c和定位件d上均设有互为配对的凹槽，定位件c的凹槽和定位件d的凹槽相对一侧设有均第三定位口，凹槽上还设有第四定位口，第四定位口与第
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219393363 U
(45)授权公告日 2023.07.21
(21)申请号 202320496253.7
(22)申请日 2023.03.15
(73)专利权人 苏州苏优信立智能科技有限公司
地
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