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本发明公开了一种复合石英窗的Cs2Te日盲紫外光电阴极及其制备方法，该复合石英窗的Cs2Te日盲紫外光电阴极是在石英窗的表面制作石墨烯层，之后在石墨烯表面采用原子层沉积方式制作一层SiO2膜层，再在SiO2膜层上制作Cs2Te日盲紫外阴极。该制备方法包括：1)生长石墨烯，得到表面上覆盖了石墨烯层的铜箔；2)转移石墨烯，得到表面上覆盖了石墨烯层的石英窗；3)制作SiO2膜层，在石墨烯表面采用原子层沉积方式制作一层SiO2膜层，得到复合石英窗；4)制作Cs2Te日盲紫外阴极，在复合石英窗的膜层上蒸镀
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113594003 A
(43)申请公布日 2021.11.02
(21)申请号 202110817147.X
(22)申请日 2021.07.20
(71)申请人 北方夜视技术
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