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锭生长装置.pdfVIP

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  • 2023-07-22 发布于四川
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锭生长装置.pdf

    本实用新型涉及锭生长装置。本实用新型实施例的锭生长装置可包括：生长炉，在内部配置为了使锭生长而收容熔融硅的主坩埚；预备坩埚，通过接收固态硅材料来使其熔融，向上述主坩埚供给熔融硅；测定部，以贯通上述生长炉的方式设置，用于对上述主坩埚的熔融硅的表面高度变化进行测定；以及控制部，基于所测定的上述熔融硅的表面高度变化，对向上述主坩埚进行的上述预备坩埚的熔融硅的供给进行控制。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214300464 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202022877240.3 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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