常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置.pdfVIP

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2023-07-22 发布于四川
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常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置.pdf

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本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。它包括带辊和控制器。所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。适用于常压式化学气相沉积机履带速度的监测。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214300350 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202022935043.2 (22)申请日 2020.12.10 (73)专利权人无锡柏斯威科技有限公司