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本实用新型公开一种Wafer自动换盘装置，包括：换盘组件，设置在所述换盘组件一侧的晶环抓取组件；所述换盘组件包括：基准安装板，设置在所述基准安装板上的第一驱动装置，晶环固定座，与所述第一驱动装置输出端连接的升降板，安装在所述升降板上的定位座，对称设置在所述定位座上的晶环定位板；所述晶环定位板与所述定位座之间设置有定位槽，所述定位座套在所述晶环固定座上；所述晶环抓取组件包括：水平驱动装置，设置在所述水平驱动装置上的气爪组件。本实用新型可进行自动换盘操作，自动化程度高，有效提高生产效率，降低生产成本
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214298248 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202023279995.X
(22)申请日 2020.12.29
(73)专利权人 深圳宝创电子设备有限公司
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