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本申请公开了一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备，属于控制结构技术领域，转动组件包括固定轴、转动座、涡轮、蜗杆以及电机，涡轮与固定轴连接，转动座与固定轴之间转动连接，蜗杆与转动座转动连接，且蜗杆与涡轮啮合，电机驱动连接蜗杆，蜗杆的转动轴线可以与涡轮的转动轴线垂直设置。本实用新型公开的转动组件无需在待控制部件上加工轴孔，待控制部件可以直接与转动座进行连接，当电机驱动蜗杆转动时，蜗杆在自转的过程中绕涡轮转动，从而带动转动座上的结构或者部件转动，实现角度的调整，这种传动组件结构简单，蜗杆
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214304836 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202023340265.6
(22)申请日 2020.12.31
(73)专利权人 成都纽曼和瑞微波技术有限公司
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