一种带水冷的射频电极.pdfVIP

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2023-07-23 发布于四川
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本实用新型公开了一种带水冷的射频电极，包括结构主体，所述结构主体包括外壳及安装座，所述外壳与所述安装座连接，所述安装座底部设有第一接线柱安装部及第二接线柱安装部，所述安装座包括设于所述安装座前端的真空法兰以及设于所述安装座内部的射频连接器及地线连接器，且所述安装座还设有至少一组连接卡套，所述真空法兰穿设有射频传输铜管，所述射频传输铜管外侧包覆有陶瓷绝缘套，并且所述射频传输铜管与所述射频连接器、地线连接器相接触，本实用新型采用铜管陶瓷钎焊的方式接入真空室，铜管在真空室内部和射频天线连接，真空室外部

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214313116 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202120142141.2 (22)申请日 2021.01.19 (73)专利权人东莞高田光学科技有限公司