一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置.pdfVIP

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  • 2023-07-24 发布于四川
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一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置.pdf

本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长的热场旋转装置,其技术方案是:包括转盘、加热筒、筒盖、原料和籽晶,所述转盘内部固定设有整平机构;所述整平机构包括板体,所述板体内部开设有第一滑道和第二滑道,本实用新型的有益效果是:通过原料堆积到一起,变高的位置将板体一侧顶起,板体通过U形座绕着转轴转动,板体倾斜,第一滚筒和第二滚筒分别沿着第一滑道和第二滑道滑动,第二滚筒促使第一滚筒滚动更加灵活,期间,第一滚筒通过两个牵引绳带动杆体向板体翘起的一侧运动,齿板跟随杆体运动,齿板受板体底部多个轮齿影响发生转动,齿板将

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214300470 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202120401696.4 (22)申请日 2021.02.23 (73)专利权人 哈尔滨化兴软控科技有限公司

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