原创力文档- 3
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- 2023-07-24 发布于四川
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本实用新型公开了一种可进行半导体元件光学测量及检测的多用途载台，包括一载送平台用于安置半导体光学的测量及检测设备，其中该载送平台包括轨道，该轨道上置有载具用于载送晶圆；该轨道包括驱动机构用于使该轨道移动，一晶圆自动馈送机构位于该载送平台上，其内部用于置放多个晶圆，该晶圆自动馈送机构包括一推送机构，使该晶圆在载送平台上移动，将该晶圆通过该轨道馈送到该测量及检测设备进行测量及检测；该载送平台还包括一作业区用于进行测量及检测作业、及一万用光学仪架设基座配置在该作业区处，且适配不同的光学测量及检测设备；
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214308887 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202120346854.0
(22)申请日 2021.02.07
(73)专利权人 杭天创新科技有限公司
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