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多功能酸洗台装置.pdfVIP

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  • 2023-07-24 发布于四川
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多功能酸洗台装置.pdf

    本实用新型提供了一种多功能酸洗台装置，包括设备本体和控制装置，其中：设备本体中部设置有操作平台，操作平台上设置有酸槽和水洗槽；操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂；操作平台的周向侧壁设置有抽气系统；控制装置控制机械臂的运动，控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。本实用新型解决了手动酸洗台酸槽种类少，针对晶圆尺寸单一，制程流程不连贯，使用过程繁琐等诸多问题，大大提升了使用设备时的安全性和便利性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214313143 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202120367211.4 (22)申请日 2021.02.08 (73)专利权人 淄博绿能芯创电子科技有限公司

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