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一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置.pdf

    本实用新型公开了一种高真空冷阴极电离规的性能检测装置，用于检测安装在真空磁控溅射设备上的高真空冷阴极电离规，高真空冷阴极电离规的性能检测装置包括真空室、用于对真空室抽真空的真空泵系统，真空泵系统包括都与真空室相连接的涡轮分子泵、罗茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷阴极电离规的性能检测装置还包括与真空室相连通的高真空冷阴极电离规、都与高真空冷阴极电离规相连通的直流电源和电压表、以及与真空室相连通的皮拉尼真空计。该高真空冷阴极电离规的性能检测装置能够方便地检测高真空冷阴极电离规的性能，其结构较为简单，检

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209894400 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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