1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约4.36千字
  • 约 5页
  • 2023-07-26 发布于四川
  • 举报

一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置.pdf

    本实用新型涉及一种基于逆向哈特曼光路的晶圆表面面形测量装置。测量装置包括外包机箱、送料平台、空间光调制器、显微透镜、彩色相机和计算机。其中空间光调制器和彩色相机固定于同一高度处，并分别位于被测晶圆的两侧，显微透镜位于空间光调制器和晶圆光路之间。送料平台由伺服电机控制的丝杆导轨运动平台组成，用于被测晶圆的运送。外包机箱由全黑不透明的不锈钢板组成，可以起到很好的遮光作用。测量方法为：计算机控制空间光调制器输出图像，经显微透镜会聚后照射在被测晶圆上，由彩色相机采集图像并在计算机中进行处理，可以得到晶圆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209894137 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >