一种蒸镀装置及蒸镀方法.pdfVIP

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2023-07-26 发布于四川
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一种蒸镀装置及蒸镀方法.pdf

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本发明涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。蒸镀装置包括：材料蒸发室、蒸汽喷射室、旋转平台、至少一个导管、旋转电机、至少一个喷嘴、多个加热丝等结构。本发明在所述材料蒸发室上方连接旋转平台，当蒸镀材料时，通过旋转电机驱动旋转平台顺时针、逆时针交替旋转，旋转平台带动材料蒸发室顺时针、逆时针交替旋转，增加蒸镀材料的受热面积，增加蒸镀材料的受热均匀性，提升蒸镀装置的蒸镀速率稳定性及生产良率；所述材料蒸发室、所述蒸汽喷射室以及所述导管皆均匀设置加热丝，降低蒸镀装置加热丝的制作工艺难度及成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113463034 A (43)申请公布日 2021.10.01 (21)申请号 202110665054.X (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人 TCL华星光电技术有限公司