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一种薄膜腔声谐振滤波器.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种薄膜腔声谐振滤波器.pdf

    一种薄膜腔声谐振滤波器，包括器件主部分，盖帽部分，第一层金属层，压电层，金属层，第二层压电层，键合金属，吸气薄膜，通孔部分，焊接凸点，腔体一，腔体二；其中：盖帽部分内部上面设置有吸气薄膜，盖帽部分上带有通孔部分，焊接凸点位于通孔部分上方；第二层压电层、金属层和键合金属设置在器件主部分和盖帽部分之间，器件主部分和盖帽部分之间通过键合工艺结合在一起；第一层金属层和压电层设置在器件主部分上，腔体一位于器件主部分内，腔体二位于盖帽部分内，均为刻蚀工艺形成。本实用新型的优点：方案结构合理，产品可靠性得到了

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