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本发明公开了一种微型多轴运动平台及其使用方法，涉及位移平台技术领域，其技术方案要点是：包括Y轴底座、Y轴定子组件动子组组件、X轴外壳、X轴定子组件和X轴动子组件，其中，Y轴定子组件设置为若干个，若干个Y轴定子组件沿Y轴方向阵列设置，Y轴动子组件与Y轴定子组件在数量和位置上呈一对一设置，每个Y轴动子组件上均设置有X轴外壳，每个X轴外壳上均设置有所述X轴定子组件和Y轴动子组件。本发明实现了XY平面的多轴独立运动，具有结构简单紧凑，集成度及运动精度高的优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116475777 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310505353.6
(22)申请日 2023.05.08
(71)申请人 昆山纳博旺精工科技有限公司
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