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基板用可旋转可伸缩传输机.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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基板用可旋转可伸缩传输机.pdf

    本发明提供了一种基板用可旋转可伸缩传输机，包括：可旋转移栽对接传输线、伸缩传输线以及机架；所述可旋转移栽对接传输线一侧设置所述伸缩传输线，所述可旋转移栽对接传输线的第一传输线通过U轴旋转机构与直线移动装置实现与所述伸缩传输线的第二传输线对接；所述可旋转移栽对接传输线和所述伸缩传输线外侧安装所述机架。本申请通过可旋转移栽对接传输线和伸缩传输线解决了基板传输中间隔设备之间基板平稳传输功能。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116477286 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310588014.9 (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人 上海世禹精密设备

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