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一种基于磁性开关控制的门阀装置.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种基于磁性开关控制的门阀装置.pdf

    本实用新型公开了一种基于磁性开关控制的门阀装置，所述门阀装置安装在两个工艺腔室之间，用于两个工艺腔室之间的高真空隔离，所述门阀装置包括阀壳、驱动气缸、连接杆、传输通道、磁性开关和阀板；所述阀壳的一侧开设有供芯片传输的传输通道，所述传输通道的两侧分别连接所述门阀两侧的工艺腔室；所述阀壳内部设置有用于隔档所述传输通道的阀板；所述驱动气缸通过所述连接杆连接到所述阀板上通过所述驱动气缸推动所述阀板到所述传输通道处，实现两个工艺腔室的高真空隔离；所述驱动气缸上设置有所述磁性开关。通过在两个驱动气缸上加装磁

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209892772 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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