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- 2023-07-26 发布于四川
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本实用新型属于传感器领域，尤其涉及一种光学读出红外传感器。本实用新型提供的光学读出红外传感器包括：硅基底；固定在硅基底上的微悬臂梁单元阵列；微悬臂梁单元阵列由若干个微悬臂梁单元组成，每个所述微悬臂梁单元均包括支撑腿、隔热梁、双材料变形梁和吸热反光板；所述双材料变形梁和吸热反光板均由复合到一起的碳纳米管膜层和金膜层组成。本实用新型利用碳纳米管在室温下的轴向热膨胀系数约为‑11×10‑6K‑1，以及碳纳米管对8～14μm波段的红外光有接近黑体的吸收率等特性，与金结合应用于双材料悬臂梁结构时，可以提高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209894345 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20192
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