原创力文档- 6
- 0
- 约4.3千字
- 约 7页
- 2023-07-26 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种六边形碳碳框，包括装载板、六边形框体，所述装载板为方形板体结构，六边形框体呈正六边形槽体结构，所述六边形框体设置有多个，多个正六边形结构在装载板上呈蜂窝状分布排列；所述六边形框体包括框底和框边，框底和框边相互配合，形成正六边形槽；在框边上设置有沉槽；本实用新型提供的六边形碳碳框，在六边形的硅片进行pecvd镀膜工艺时，能够很好地对硅片提供支撑，将硅片搭载槽边的沉槽上，从而对硅片进行加工。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209896035 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20192
您可能关注的文档
- 一种抗震航空箱.pdf
- 一种压缩床垫旋转对折集成平台.pdf
- 一种带有折角固定组件的手动打钉机.pdf
- 一种用于检测脐橙内部缺陷无损检测的辅助装置.pdf
- 一种雨水降水量检测设备.pdf
- 一种带有热致变色镀膜层的光伏组件.pdf
- 基于焊接主体的可拆卸式导向滑靴.pdf
- 一种具有减震降噪的电梯控制柜.pdf
- 一种手机充电口的充电线防脱落装置.pdf
- 一种野战条件下便携式生物医药冷藏箱.pdf
- 2026陕西省面向西北工业大学招录选调生押题模拟卷.docx
- ISO9001-2026质量管理体系之“8.2产品和服务的要求”基于PDCA循环过程方法应用表（图）解集（雷泽佳编制2026A0）.pdf
- ISO9001-2026质量管理体系之“8.3产品和服务的设计和”基于PDCA循环过程方法应用表（图）解集（雷泽佳编制2026A0）.pdf
- ISO9001-2026质量管理体系之“8.4外部提供的过程、产品和服务的控制”基于PDCA循环过程方法应用表（图）解集（雷泽佳编制2026A0）.pdf
- 2027羊年非遗锦鲤新春游园会（吉羊启岁 鱼灯献瑞主题）动策划方案.pptx
- 2026陕西省森林资源管理局局属企业招聘（55人）押题模拟卷.docx
- 2026陕西省特种设备检验检测研究院招聘（9人）押题模拟卷.docx
- 2026陕西省面向四川大学招录选调生押题题库.docx
- 2026陕西省面向中南大学招录选调生备考试卷.docx
- 2026陕西省面向中山大学招录选调生押题题库.docx
文档评论（0）