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本申请涉及一种载具、处理设备、处理设备的上料方法及使用方法。该载具包括框架和遮盖件。框架具有用于放置待处理件的处理空间、以及连通所述处理空间内外的进气部、出气部及至少一个敞口部。遮盖件与所述框架可拆卸连接，并遮盖全部所述敞口部。本申请实施例中的遮盖件在装配于框架后，遮盖件可遮盖框架的敞口部，以使得框架的处理空间只具有相连通的进气部和敞口部。该处理空间可对通入的气体进行导流，并使得位于不同区域的气体量尽可能一致，从而提高了待处理件与气体反应后，待处理件表面所形成的膜层的均一性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116479410 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310456484.X
(22)申请日 2023.04.25
(71)申请人 江苏微导纳米科技股份有限公司
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