一种设置有内框斜面避空结构的石墨舟片.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种设置有内框斜面避空结构的石墨舟片.pdf

本实用新型公开了一种设置有内框斜面避空结构的石墨舟片,包括石墨舟片本体、硅片安装内框,所述硅片安装内框并排设置,均匀设置有多个;所述硅片安装内框呈方形结构,设置有框边、框底,在框边上开设有斜面;本实用新型通过在硅片安装内框的框边上设置斜面,通过斜面避空,有效降低了接触面积,从而减少了划伤和内框印记的产生,保护了硅片,延长其使用寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209896034 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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