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一种光学元件表面微观缺陷检测方法、系统、设备及介质.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种光学元件表面微观缺陷检测方法、系统、设备及介质.pdf

    本发明适用于精密光学元件缺陷检测技术，提供了一种光学元件表面微观缺陷检测方法、系统、设备及介质。一种光学元件表面微观缺陷检测方法，所述光学元件表面微观缺陷检测方法包括：获取光学元件表面的空间散射参数；根据所述空间散射参数建构琼斯矩阵，将所述琼斯矩阵转换为穆勒矩阵；根据所述穆勒矩阵判断光学元件表面是否存在缺陷。本发明采用的入射光为偏振光，用琼斯矩阵来描述偏振光，再将琼斯矩阵转换为穆勒矩阵就能表现出散射场的散射分布和偏振状态，对光学元件表面目标的探测和检验更加准确，检测精度可达纳米级别，并且检测范围

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116482123 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310727596.4 G06F 17/16 (2006.01) (22)申请日 2023.06.

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