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计量标准器的制造方法及其制造装置.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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计量标准器的制造方法及其制造装置.pdf

    本公开提供了一种计量标准器的制造方法与计量标准器的制造装置，计量标准器的制造方法包括：提供衬底；在所述衬底的一侧形成临时键合层；在所述临时键合层背离所述衬底的表面形成图案化基板，所述图案化基板中形成有通孔；将子计量标准器设于所述通孔中，所述子计量标准器的图案面位于所述通孔的底部；形成填充所述通孔的填充层；去除所述临时键合层与所述衬底，形成计量标准器。本公开提供的计量标准器的制造方法，材料成本和制作成本较低，制造周期短。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116482428 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202210038612.4 (22)申请日 2022.01.13 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 23

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