一种滚筒真空等离子机.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.28万字
约 12页
2023-07-27 发布于四川
举报
版权申诉

一种滚筒真空等离子机.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请涉及一种滚筒真空等离子机，包括缸体、滚筒以及等离子发生部，缸体底端连接缸体延长管，缸体延长管连接抽真空设备；滚筒转动地设于缸体内，滚筒与缸体可拆卸连接；等离子发生部包括电极棒，电极棒贯穿缸体和滚筒伸入至滚筒内部，电极棒内设有气流通道和冷却水通道，气流通道中通入工艺气体，电极棒设有中轴部和伸展部，伸展部设于中轴部上，中轴部设于滚筒的中轴线上，伸展部朝向滚筒的径向延伸并抵近滚筒内部的筒壁，使得冷却水作用于气流通道内的工艺气体和电极棒，以及电极棒外部的气体，从而使得滚筒内的温度较为均匀地降低，滚

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219401469 U (45)授权公告日 2023.07.25 (21)申请号 202320863452.7 (22)申请日 2023.04.18 (73)专利权人深圳市方瑞科技有限公司地址