JC_T 2372-2016集成电路用石英舟.pdf

ICS 81. 040. 30Q 35JC备案号：559882016中华人民共和国建材行业标准JC/T 2372—2016集成电路用石英舟Quartz boats for IC industry2016-07-11发布2017-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T 2372—2016前 言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。本标准负责起草单位：上海强华石英有限公司。本标准参加起草单位：上海华虹宏力半导体制造有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、久智光电子材料科技有限公司。本标准主要起草人：高君、林红斌、杨军、吴长明、周利明、张葆青、周文华、白凤茹。本标准为首次发布。1 JC/T 2372—2016集成电路用石英舟1范围本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、清洗、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造工艺用8美寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 3284石英玻璃化学成分分析方法JC/T 2205石英玻璃术语3术语和定义JC/T2205界定的术语和定义适用于本文件。4分类和标记4. 1分类按照集成电路制造工艺中对石英舟材料杂质元素含量的要求分为标准级石英舟(S级)和高纯级石英舟(H级)。4.2标记按产品的分类、名称、产品图号、生产批号和标准编号和检验员编号的顺序标记。示例：符合JC/T2372—2016，图号为XXXX，生产批号001，检验员编号为01的标准级石英舟的标记为S石英舟XXXX201111215001JC/T 2372—2016015材料材料选用标准级和高纯级石美原材料。6要求6.1长度、宽度、高度、直径偏差石英舟的长度、宽度、高度、直径偏差应符合表1的规定，其他末注明偏差尺寸参照B级。1 JC/T 2372—2016表1长度、宽度、高度、直径偏差单位为毫米长度，宽度、高度、直径尺寸范围≤67 ~30001 ~ 18:101 ~400401 1 0001 001 ~2 000± 0. 1±0. 2± 0. 3± 0, 5± 0, 5± 1. 0±0. 5± 0. 5± 0. 8± 1. 5± 2. 0± 3. 0注1:A级-机床精密加工尺寸，例如：离例及有模具定位的相关尺寸。注2:B级于工加工尺寸，例妇；焊接，手工研制6. 2槽部尺寸偏差石英身借部示意图见图1，槽部尺寸偏差应符合表2的规定。单位为毫米S/G硅片放置试验单片间障要求0.5~1.0S/B首槽到基准面距离±0.2S/V 格宽±0. 05S/S 谱间距±0. 05ARRAARARRAS/A总格间距±0. 1图1槽部尺寸示意图表2槽部尺寸偏差单位为毫米差类别名称格完总热问距首到硅片故置测试基准距离单这闻原要求符号S/WS/SS/A/sS/ES/G制品偏差± 0. 05± 0. 05±0, 1±0. 3± 0. 20, 5~1. 06. 3形位偏差石英舟的形偏差应符合表3的规定，表3形位偏差单位为毫米名称形位差美别垂直度平行度平面度对称度符号//D=制品编差A段0. 150. 2 0. 10. 1B吸1. 00. 5 0. 2 0. 6注；A缓，B线的定义同表1、 JC/T 2372—20166. 4外观质量石英舟的外观质量应符合表4的规定。表4外观质量要求宽度长度允许数量个/=尺寸范明≤1. 0≤2气泡、碳皮气池、气≤0, 5≤3≤3线、破皮气线、≤0. 3≤I≤5通长气线和破皮气范、残皮气线不准许，焊口处气泡置表面1m深以上时，允许直径小于0.品m每个焊接处数量不多于3个，气泡大小在坚厚方向尺寸不得超过壁厚的1/3，直径或完度小于0.1m的气滤或气线数量不计，色斑酸色直经尺寸允许数量个/≤2. 0≤1白点≤1. 0≤3色线、色班≤0. 5≤5≤0.5≤2黑色≤0.3其他颜色不允许划伤宽度不大于0.3m深度不大于0.1m长度不大于10m经抛光处理的划伤是允许的。析品片获析品不允许，点状相品接白点计，经抛光处理后的前落在下速范围之内允许。前落长度不大于3m深度不大于1：石英管别落深度小于1/3壁厚。基准面期落，不允许云窝允许不明是的云雾存在。在封闭式腔体内，少量的白烟是允许的。抵疯如在相关尺寸偏差的范围内，允许无明显凸国的抵痕。炸裂、品纹、生料颗较、桔皮、暗范、不允许。透明颗粒每100最多允许20个。液纹、沟校如在相关尺寸和形位偏差范图内允许存在6.