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本实用新型提供了一种测试机与针测机对准装置，主要包括测试头、连接件以及测试机本体，测试头通过连接件连接在测试机本体上。并在连接件内设置驱动机构，驱动机构可用于驱动测试头的运动，并实现测试头与针测机部件对准。解决了现有技术中需要通过手动操作来控制机械臂的摆动来实现测试头与针测机部件的自动对准。另外，发明人还发现可在测试头上设置监测接收机构，以及在针测机部件上设置监测发送机构，可使得测试头与针测机部件的对准更加精准，从而大大减小晶圆测试中open/short现象的出现，极大地缩短了晶圆的测试时间以及
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209927893 U
(45)授权公告日
2020.01.10
(21)申请号 20192
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