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一种降氧导流筒、单晶炉及降氧工艺方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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一种降氧导流筒、单晶炉及降氧工艺方法.pdf

    本申请的实施例提供了一种降氧导流筒、单晶炉及降氧工艺方法，涉及单晶硅生产技术领域。该降氧导流筒包括导流筒主体，导流筒主体包括相连接的直筒部和收束部，收束部向内收束且具有用于朝向坩埚内液面的流通口；罩体，罩体包括气流引导部和弯曲聚热部，气流引导部的内侧壁连接于收束部背离直筒部的一端，气流引导部的外侧壁与弯曲聚热部相连接，弯曲聚热部朝背离收束部的一侧弯折，气流引导部与收束部之间形成三角形区域，其能够使得氩气流过液面的面积增大，进而更多地带走液面挥发的氧杂质。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116497434 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310729184.4 (22)申请日 2023.06.20 (71)申请人 苏州晨晖智能设备有限公司 地址

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