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本发明属于光伏电池制造技术领域，尤其涉及一种硼扩散设备及其使用方法。本发明硼扩散炉包括：炉体，用于提供扩散剂输送到硅片表面的场所；进气系统；排气系统；其中，所述进气系统包括至少部分设置在所述炉体内的前部进气管以及中部进气管，所述中部进气管位于所述炉体中部的部分的设有出气口，所述出气口的开口朝向接近水平。本发明的硼扩散设备在控制硼扩散整体进气量不变的情况下，将常规的单路进气改为双路进气，即增加一路额外的进气管路，且该管路的出口处在炉管中部，炉管中部的进气管路具有水平方向的两个出气口，水平设置的出气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116504611 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310771873.1 H01L 31/103 (2006.01)
(22)申请日 2023.06
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