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- 2023-07-29 发布于四川
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提供一种端面部测量装置及端面部测量方法，其不受晶圆的端面部的表面状态影响，能够在短时间内对端面部的整体进行形状测量。该端面部测量装置具备：保持部，其保持晶圆；旋转单元，其使晶圆旋转；以及传感器，其具有：向利用保持部保持的晶圆的端面部投射来自光源的激光的投射部、以及接受该激光在晶圆的端面部反射的扩散反射光的受光检测部，该端面部测量装置一边保持晶圆并使其旋转，一边至少在从保持有晶圆的面的法线方向到保持的面的相反侧的面的法线方向的范围利用传感器投射激光以及接受扩散反射光，能够利用三角测距法测量晶圆的端
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116504660 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310020947.8
(22)申请日 2023.01.06
(30)优先权数据
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