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抗蚀剂材料及图案形成方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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抗蚀剂材料及图案形成方法.pdf

    本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有：包含下式(1)表示的锍盐的酸产生剂。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116500862 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310057731.9 (22)申请日 2023.01.18 (30)优先权数据 2022-010596 202

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