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本发明属于研磨抛光技术领域,公开一种大盘检测方法,包括步骤S1:检测上盘和下盘之间的吻合度,步骤S1包括:在下盘上铺设压敏纸,下盘的内侧环形区、中间环带区以及外缘环形区均至少部分覆盖有压敏纸;控制上盘下落至压紧下盘;在上盘压紧下盘预设时间T后,控制上盘上升;观测下盘上铺设的压敏纸的颜色变化,若压敏纸的颜色变化均匀,颜色比较一致,则证明上下盘之间的吻合度良好。该吻合度检测方法操作方便,能够快速准确检测上下盘的吻合度,后期仅需要取走下盘上的压敏纸即可,清理工作量小,无需清洗设备,相比于使用着色剂的检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116494120 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310779284.8
(22)申请日 2023.06.29
(71)申请人 苏州博宏源机械制造有限公司
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