等离子物理气相沉积系统及连续加载喷涂控制方法.pdfVIP

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2023-07-29 发布于四川
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等离子物理气相沉积系统及连续加载喷涂控制方法.pdf

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本发明提供了等离子物理气相沉积系统及连续加载喷涂控制方法；其中，该系统包括：集成控制模块、真空获取模块、等离子模块、粉末输送模块和机械手转台联动模块；真空获取模块包括真空罐体，以及设置在真空罐体两侧的第一加载单元和第二加载单元；等离子模块包括设置在真空罐体的等离子喷枪；集成控制模块用于控制第一加载单元或第二加载单元将目标部件送至真空罐体内，并控制等离子喷枪对目标部件进行喷涂，并当喷涂完成后，控制第一加载单元或第二加载单元将喷涂后的目标部件退出真空罐体，因此，通过该系统，集成控制模块可以分别通过第

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115287600 A (43)申请公布日 2022.11.04 (21)申请号 202210829143.8 (22)申请日 2022.07.14 (71)申请人北京金轮坤天特种机械有限公司地址