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红外薄膜器件及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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红外薄膜器件及其制备方法.pdf

    本发明提供了一种红外薄膜器件及其制备方法，属于光学薄膜技术领域，具体包括惰性基底；长波通膜系，沉积在所述惰性基底的一表面，所述长波通膜系为非等厚周期膜系，周期膜系的结构表达为x(0.8L1(H1L1)3H10.8L1)3，其中，H1为高折射率材料ZnS，L1为低折射率材料Yb‑B，Yb‑B为YbF3与Ca的混合薄膜材料，x为膜厚度为λ/4的倍数；以及增透膜系，沉积在所述惰性基底的另一表面，基础膜系的结构为Sub|(H2L2)2M2|Air进行设计，其中，H2为高折射率材料Ge，L2为中折射率材料

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116500707 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310100947.9 C23C 14/30 (2006.01)

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