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一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法.pdf

    本发明涉及一种化学放大型I线光刻胶及其制备与使用方法，该光刻胶包括以下质量百分比的各组分：聚合物树脂，光刻胶的10～20％；光酸，聚合物树脂的2～10％；酸猝灭剂，光酸的8～30％；稳定剂，聚合物树脂的0.5～15％；流平剂，光刻胶的0.05～0.5％；溶剂，补足100％；其中，聚合物树脂为聚羟基苯乙烯类聚合物树脂。制备方法包括以下步骤：将化学放大型I线光刻胶的各组分按比例混合。使用方法包括以下步骤：将化学放大型I线光刻胶涂布在Si基材上，依次经过前烘、曝光、后烘和显影。本发明提供的光刻胶可以有

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116500859 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211718689.2 (22)申请日 2022.12.29 (71)申请人 徐州博康信息化学品有限公司 地址

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