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超级结绝缘栅双极型晶体管的制作方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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超级结绝缘栅双极型晶体管的制作方法.pdf

    本发明公开了一种超级结绝缘栅双极型晶体管的制作方法，包括：在衬底的第一表面形成第一外延层，并对所述第一外延层进行电子辐照，以在所述第一外延层内形成复合中心；在所述第一外延层上形成第二外延层，在所述第二外延层内制作形成超级结区，所述第一外延和第二外延层为漂移区，在所述漂移区上形成第三外延层，并在所述第三外延层内形成阱区、发射极和栅极。本发明实施例提供的制作方法，解决了超级结器件在关断时的电流拖尾问题，减小了器件的关断损耗，同时不会影响栅氧的质量与器件的阈值电压。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116504633 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202210798080.4 (22)申请日 2022.07.06 (71)申请人 苏州华太电子技术股份有限公司 地址

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