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本发明涉及一种叉指背接触太阳能电池的制作方法及制得的叉指背接触太阳能电池，所述制作方法对硅基体进行双面抛光、一次开槽、正面制绒、双面硼扩、BSG修饰减薄、双面钝化、二次开窗与背面磷扩及丝网印刷制得所述叉指背接触太阳能电池；本发明通过开槽使得电池背面形成凹凸交替排列的结构，使分别在凹凸结构中形成的P、N区产生物理隔绝；同时，通过保留下来的减薄BSG层进行磷扩，可以有效促进磷的扩散并形成背面N区及重掺杂区，同时，保留的减薄BSG层可以起到钝化效果，无需增加额外工艺，所述制作方法相对简便，对设备要求不
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115020513 A
(43)申请公布日 2022.09.06
(21)申请号 202210624546.9 H01L 31/18 (2006.01)
(22)申请日 2022.06.
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